等離子體清洗是等離子體表面改性最常用的方法之一，等離子清洗機(jī)是一項(xiàng)高新技術(shù)，利用等離子體達(dá)到傳統(tǒng)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子清洗機(jī)采用氣體作為清洗介質(zhì)，可有效避免液體清洗介質(zhì)造成的二次污染。等離子清洗機(jī)在使用氣體時(shí)施加足夠的能量，使其電離成等離子體狀態(tài)。等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常存在三種狀態(tài)：固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)。

　　然而，在電離層的某些特殊情況下，在電離層的某些情況下。在等離子體狀態(tài)下，有以下物質(zhì)：高速運(yùn)動的電子;處于活動狀態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)簇;電離的原子和分子;未反應(yīng)的分子和原子等，但物質(zhì)總體上保持電中性。等離子體中的“活性”成分包括離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)核素、光子等，等離子體清洗機(jī)就是利用這些活性成分的性質(zhì)對樣品表面進(jìn)行處理，從而達(dá)到清洗、改性、涂布、光刻膠灰化等目的。

　　去除的污染物可能是有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、氧化物、微粒污染物等。實(shí)際上，等離子清洗機(jī)通過對樣品進(jìn)行表面改性，同時(shí)去除表面有機(jī)物，使各種材料可以進(jìn)行粘接、涂布、涂布等工藝操作。廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子、電子、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微流體等領(lǐng)域。

　　等離子清洗機(jī)與真空泵相連。工作時(shí)，清洗室內(nèi)的等離子清洗待清洗物體的表面。經(jīng)過短時(shí)間的清洗，有機(jī)污染物可被徹底清除。同時(shí)，污染物被真空泵抽走，凈化程度達(dá)到分子水平。等離子清洗機(jī)除具有超強(qiáng)清洗功能外，還可以在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料的表面性能。

　　等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學(xué)鍵重新結(jié)合，形成新的表面特征。對于某些特殊材料，等離子清洗機(jī)的輝光放電不僅提高了材料的附著力、相容性和潤濕性，而且對其進(jìn)行了消毒。